張 翼
職稱: 教授兼院長
辦公室電話: 03-5712121-31536/31421
E-mail: [email protected]
簡介:
University of Minnesota, Twin Cities Department of Materials Science and Engineering Ph.D
國立清華大學台灣材料科學與工程學系學士
國立交通大學教授材料科學與工程研究所
國立交通大學副教授材料科學與工程研究所
漢威光電股份有限公司
國立交通大學兼任教授材料科學與工程研究所
美國Comsat LabsSenior MTSMicroelectronics Division
美國Comsat LabsSenior MTSGaAs Component Division
研究專長:
砷化鎵高頻電晶體技術、化合物光電半導體元件與製程、三五族材料磊晶技術、半導體材料分析
1. GaN, GaAs及InP等磊晶材料系統(MOCVD及MBE)
2. Si晶圓上成長三五族半導體磊晶(III-V/Si整合)
3. SiGe磊晶成長(UHVCVD)
4. 三五族高頻電晶體元件製作技術:RIE&ICP etcher、PECVD、Sputter、E-Beam Lithography
5. GaN LED 材料磊晶成長與元件製作
6. 氮化鎵功率電晶體磊晶材料成長與元件製作
職稱: 教授兼院長
辦公室電話: 03-5712121-31536/31421
E-mail: [email protected]
簡介:
University of Minnesota, Twin Cities Department of Materials Science and Engineering Ph.D
國立清華大學台灣材料科學與工程學系學士
國立交通大學教授材料科學與工程研究所
國立交通大學副教授材料科學與工程研究所
漢威光電股份有限公司
國立交通大學兼任教授材料科學與工程研究所
美國Comsat LabsSenior MTSMicroelectronics Division
美國Comsat LabsSenior MTSGaAs Component Division
研究專長:
砷化鎵高頻電晶體技術、化合物光電半導體元件與製程、三五族材料磊晶技術、半導體材料分析
1. GaN, GaAs及InP等磊晶材料系統(MOCVD及MBE)
2. Si晶圓上成長三五族半導體磊晶(III-V/Si整合)
3. SiGe磊晶成長(UHVCVD)
4. 三五族高頻電晶體元件製作技術:RIE&ICP etcher、PECVD、Sputter、E-Beam Lithography
5. GaN LED 材料磊晶成長與元件製作
6. 氮化鎵功率電晶體磊晶材料成長與元件製作